八氟环丁烷（C4F8）

　　八氟环丁烷又名全氟环丁烷，是一种无色无味不可燃的气体，化学性质稳定，无毒且无臭氧影响，温室效应低，是一种绿色环保型特种气体，主要应用于高压绝缘、超大集成电路蚀刻剂、代替氯氟烃的制冷剂、气溶剂、清洗剂（电子工业用）、喷雾剂、与六氟化硫混合做电解质，含氟化合物聚合的介质、热泵工作流体等。

　　作为常用的半导体工艺的蚀刻或清洗气体之一，八氟环丁烷质量的好坏直接决定半导体器件的性能。在半导体制程中，进行气体蚀刻，以便部分除去薄膜材料，从而形成能构成半导体的电路团。同时，用清洁气体除去沉积物，以除去在薄膜形成期间沉积在反应器内侧的薄膜材料。随着半导体器件的升级换代，对蚀刻和清洗气体的纯度要求也越来越苛刻，并提出了“超纯、超净、超前”的发展要求，以适应电子行业的飞速发展。八氟环丁烷的产品纯度随不同的应用有不同的质量规格，商品纯度从99.5%~99.999%均有，一般99.995%以上应用于超大规模集成电路。随着蒙特利尔协议的实施和电子行业的飞速增长，八氟环丁烷的作用日趋重要，使用量也在逐年上升，是一种重要的含氟特种气体。八氟环丁烷应用于气体绝缘高压设备，能够减少对大气臭氧层破坏，对环境保护做出巨大贡献。

应用场景：

1、半导体制造：等离子体蚀刻、清洗工艺；

2、平板显示制造：薄膜沉积工艺气体、面板薄膜材料蚀刻剂；

3、太阳能电池制造：硅片蚀刻、设备清洗；

4、光学器件制造：用于光学器件的表面蚀刻和清洗、光学薄膜的沉积工艺；

5、其他电子工业应用：电子元件清洗。